作者信息： 金属研究所 功能薄膜与界面研究部-刘鲁生-精密水冷

　　图片组成：1、冷却水出口；2、外密封圈；3、冷却水水道；4、冷却水入口；5、水冷盘

　　功能描述：在高品质金刚石薄膜的制备过程中，精密高效的水冷盘起着至关重要的作用，本设计中的冷却水能在环形双通道水冷槽中迅速通过，对水冷盘高效全面积冷却

　　图片部件来源设备名称型号：微波等离子体气相沉积设备/CYRANNUS Ⅰ

　　图片设计依据：《流体力学》、《热工学》、《真空设计手册》

　　图片处理软件名称：CAXA2007