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论文库 |
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| 第一作者所在部门: |
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| 论文题目: |
Communication—Electrodeposition of Nano-Twinned Cu in Void-Free Filling for Blind Microvia of High Density Interconnect |
| 作者: |
Zhu Q S, Zhang X, Li S J,Liu C Z,Li C F |
| 论文出处(相关负责人): |
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| 刊物名称: |
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY |
| 年: |
2019 |
| 卷: |
166 |
| 期: |
1 |
| 页码: |
D3097 -D3099 |
| 联系作者: |
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| 收录类别: |
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| 影响因子: |
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| 英文摘要: |
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