您现在的位置：
首页
>
科研成果
>
论文
论文库
论文编号:
第一作者所在部门:
论文题目:
金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制
作者:
刘鲁生，翟朝峰，杨兵，宋昊哲，于岐，史丹，袁子尧，卢志刚，陈滨，周美琪，李海宁，喻彪，黄楠，姜辛
论文出处（相关负责人）:
刊物名称:
真空
年:
2020
卷:
57
期:
6
页码:
1-4
联系作者:
收录类别:
影响因子:
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:
关闭窗口
