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论文编号:
第一作者所在部门:
论文题目:
沉积工艺参数对电弧离子镀薄膜沉积速率影响的研究进展
作者:
赵彦辉，史文博，刘忠海，赵升升，王铁钢，于宝海
论文出处（相关负责人）:
刊物名称:
真空与低温
年:
2020
卷:
26
期:
5
页码:
385-391
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