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专利名称:
一种纳米叠层TiN梯度膜及其制备方法
专利类别:
发明专利
申请号:
200710011188.X
申请日期:
20070430
专利号:
第一发明人:
于志明
其它发明人:
饶光斌 徐家寅 柯伟 李依依
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20090805
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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