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专利库
专利名称:
一种测试薄膜残余应力及其沿层深分布的方法
专利类别:
发明专利
申请号:
200510047805.2
申请日期:
20051125
专利号:
第一发明人:
孙 超
其它发明人:
赵升升 华伟刚 宫骏 杜昊 王启民 李家宝
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20090304
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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