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专利库
专利名称:
一种改善电弧离子镀沉积工艺的动态磁控弧源装置
专利类别:
实用新型
申请号:
200820010151.5
申请日期:
20080111
专利号:
第一发明人:
肖金泉
其它发明人:
郎文昌 孙超 宫骏 杜昊 赵彦辉 杨英 闻立时
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20081203
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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