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专利名称:
高压热充氢制备纳米晶硅薄膜的方法及其专用设备
专利类别:
发明专利
申请号:
200510047084.5
申请日期:
20050824
专利号:
第一发明人:
谭 军
其它发明人:
万晔 温井龙 张磊 姚戈
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20080116
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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