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专利库
专利名称:
一种用离子束加工样品界面实现背射表征的方法
专利类别:
申请号:
200610134135.2
申请日期:
20061103
专利号:
第一发明人:
谭军,张磊,张广平,谢天生
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20100224
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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