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专利库
专利名称:
一种用于制备非晶薄膜的电弧离子镀冷却装置
专利类别:
申请号:
201120216290.5
申请日期:
20110623
专利号:
第一发明人:
肖金泉,常正凯,孙超,宫骏,华伟刚
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20120118
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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