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专利库
专利名称:
一种能精确测量超薄工件厚度方法及仪器
专利类别:
申请号:
200810012029.6
申请日期:
20080626
专利号:
第一发明人:
蔡桂喜,韩晓华,刘畅,徐华,董瑞琪,贾中青
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20120111
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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