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专利名称:
一种多层薄膜的沉积方法
专利类别:
发明
申请号:
201010191763.0
申请日期:
20100604
专利号:
第一发明人:
赵彦辉,肖金泉,郎文昌,于宝海,华伟刚，高立军
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20130403
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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