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专利库
专利名称:
一种等离子刻蚀腔体表面防护涂层制备方法
专利类别:
发明
申请号:
201310134038.3
申请日期:
20130416
专利号:
第一发明人:
吴杰，金花子，沈艳芳，李鸣，熊天英
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20141022
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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