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专利库
专利名称:
一种磁控电弧离子镀复合沉积装置
专利类别:
实用新型
申请号:
201320661704.4
申请日期:
20131022
专利号:
第一发明人:
赵彦辉，肖金泉，于宝海，华伟刚，宫骏，孙超
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20140326
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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