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专利名称: 一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用
专利类别: 发明
申请号: 2011102888678
申请日期: 20110926
专利号:
第一发明人: 孙超、常正凯、肖金泉、宫骏、华伟刚、陈育秋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 20151209
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
   

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