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专利库
专利名称:
用等离子体增强化学气相沉积在长管内表面沉积薄膜方法
专利类别:
发明
申请号:
2013 10329125.4
申请日期:
20130731
专利号:
第一发明人:
赵彦辉、于宝海、肖金泉
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20150708
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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