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专利名称:
一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材及应用
专利类别:
发明
申请号:
2013 10009959.7
申请日期:
20130110
专利号:
第一发明人:
孙超、常正凯、肖金泉、宫骏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20150107
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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