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专利库
专利名称:
一种热丝CVD用钼电极自动清理装置
专利类别:
实用新型
申请号:
201922080455.X
申请日期:
20191127
专利号:
201922080455.X
第一发明人:
刘鲁生、姜辛、黄楠
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20200918
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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