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专利名称: 一种高精度硅物理掩膜版
专利类别: 实用新型
申请号: 201920485718.2
申请日期: 20190411
专利号: 201920485718.2
第一发明人: 邰凯平、赵洋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 20200103
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
   

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