您现在的位置:
首页
>
科研成果
>
专利
专利库
专利名称:
一种用于高纯材料生长的CVD管式炉
专利类别:
实用新型
申请号:
申请日期:
20200927
专利号:
202022153709.9
第一发明人:
刘鲁生、姜辛、黄楠、杨兵、翟朝峰、史丹、宋昊哲、于岐、袁子尧、卢志刚、陈滨、周美琪
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20210528
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
关闭窗口