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专利名称:
一种大长径比内腔低温溅射α-Ta涂层的制备方法及其应用
专利类别:
发明
申请号:
申请日期:
20180906
专利号:
201811036233.1
第一发明人:
朱圣龙，牛云松，陈明辉，王福会
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20210305
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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