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专利名称:
一种大长径比管件内腔磁控溅射设备和制备α-Ta涂层的方法
专利类别:
发明
申请号:
申请日期:
20180906
专利号:
201811036489.2
第一发明人:
牛云松，朱圣龙，王福会，陈明辉
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20210226
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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