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专利名称:
一种电耦合化学气相沉积法制备碳化硅涂层的装置和方法
专利类别:
发明
申请号:
申请日期:
20170531
专利号:
201710396960.8
第一发明人:
汤素芳，庞生洋，胡成龙，王石军
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20210112
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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