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专利名称: 一种多工位长管材高效磁控溅射镀膜专用装置
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 20181109
专利号: 201811329249.1
第一发明人: 刘实;王晓光;王永利;熊良银;李静;崔勇;李依依
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 20210105
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
   

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