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专利库
专利名称:
一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台
专利类别:
实用新型
申请号:
202122932580.6
申请日期:
20211126
专利号:
202122932580.6
第一发明人:
刘鲁生、姜辛、黄楠、翟朝峰、杨兵
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20220527
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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