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专利名称:
一种六方氮化硼薄膜的超快制备方法
专利类别:
发明
申请号:
202210573345.0
申请日期:
20220524
专利号:
202210573345.0
第一发明人:
任文才，周天亚，徐川，成会明
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20231013
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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