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专利名称: 金刚石薄膜连续制备使用的HFCVD设备及其镀膜方法(美国)
专利类别: 发明
申请号: US11939669
申请日期: 20220117
专利号: US11939669
第一发明人: 刘鲁生,姜辛,黄楠
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 20240326
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
   

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