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专利库
专利名称:
一种均匀连续高效制备的化学气相沉积反应设备
专利类别:
实用新型
申请号:
202322444736.5
申请日期:
20230908
专利号:
202322444736.5
第一发明人:
任文才，马超群，盖龙飞，刘海超，成会明
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
20240517
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
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