设备名称：环境扫描电镜

　　型号：XL30 FEG

　　制造厂家：FEI

　　功能用途：

　　可对样品进行表面形貌观察，同时进行元素定性分析；
　　环扫功能配有冷台与热台两种模式；
　　配有三点弯曲台与拉伸台，可对样品进行力学测试的同时进行表面形貌观察等。

　　主要技术指标：

　　SE分辨率20nm、BSE分辨率50nm；
　　三点弯曲台最大加载300N；
　　冷台控制温度-5°C—55°C；
　　热台控制温度0-1000°C、0-1500°C。