设备名称：场发射透射电子显微镜

　　型号：JEM2100F

　　制造厂家：日本JEOL公司

　　功能用途：材料的形貌观察，对应区域的结构表征；
　　　　　　　纳米束，汇聚束衍射；成分的点，线，面分析。

　　主要技术指标：

　　点分辨率0.23nm；
　　信息分辨率 0.10nm'；
　　加速电压200kV；
　　TEM束斑尺寸2-5nm，EDS束斑尺寸0.5-2.4nm。