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设备名称:三离子束切割仪
设备型号:Leica EM TIC 3X
制造厂家:德国徕卡公司
主要用途:
适用于切割硬的,软的,多孔的,热敏感的,脆的和轻合金及非均质多相复合型材料,获得高质量切割截面,以适宜于扫描电子显微镜(SEM)微区分析(能谱分析EDS,波谱分析WDS,俄歇分析Auger,背散射电子衍射分析EBSD)和原子力显微镜(AFM)分析。
主要技术指标:
1、可容纳最大样品尺寸50x50x10mm,可获得最大有效切割截面面积4x1mm;
2、三把离子枪,离子束能量1kev-10kev;
3、可进行离子束切割或刻蚀,可选择任意离子枪;
4、液氮制冷冷台-150℃至30℃,25L液氮罐及自动泵,具有自动快速制冷功能。