设备名称：三离子束切割仪
设备型号：Leica EM TIC 3X
制造厂家：德国徕卡公司
主要用途：
适用于切割硬的，软的，多孔的，热敏感的，脆的和轻合金及非均质多相复合型材料，获得高质量切割截面，以适宜于扫描电子显微镜（SEM）微区分析（能谱分析EDS，波谱分析WDS，俄歇分析Auger，背散射电子衍射分析EBSD）和原子力显微镜（AFM）分析。
主要技术指标：
1、可容纳最大样品尺寸50x50x10mm，可获得最大有效切割截面面积4x1mm；
2、三把离子枪，离子束能量1kev-10kev；
3、可进行离子束切割或刻蚀，可选择任意离子枪;
4、液氮制冷冷台-150℃至30℃，25L液氮罐及自动泵，具有自动快速制冷功能。
