设备名称：台阶仪

　　设备型号：Alpha-step IQ

　　制造厂家：美国KLA公司

　　主要用途：主要用于测量薄膜厚度，试样的粗糙度，轮廓尺寸等。

　　主要技术指标：
　　扫描长度：不低于10mm；
　　扫描速度：小于250μm/sec；
　　测量力：1mN；
　　垂直测量范围：除标配外应至少达到1mm；
　　量程与分辨率之比：优于60,000:1。