设备名称:激光共聚焦显微镜
设备型号:LSM700
制造厂家:德国蔡司公司
主要用途:
用来观察样品表面亚μm程度(0.2μm)的三维形态和形貌,又可以测量多种微小的尺寸,诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。
激光共聚焦显微镜使用方便,与一般光学显微镜相似,且全部采用计算机直观控制;基本无须制样,不损伤样品,不需要做导电处理,也容许大尺寸样品直接观察,完全不破坏样品。
几十秒到一两分钟即完成全部的扫描,成像,测量采样工作,作为一种新的检测仪器,是SEM的一种补充。
主要技术指标:
1、X,Y轴分辨率:不小于120nm;Z轴分辨率:不小于1nm;
2、扫描分辨率:2048X2048像素,连续可调;
3、物镜:半复消色差物镜5X、10X;复消色差物镜20X、50X、100X和100X长焦;
4、6孔电动物镜转盘;
5、目镜:原装进口目镜;
6、光源:激光和彩色两部分, 激光光强可调;
7、具备明场、暗场、干涉和偏振方式观察。
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