设备名称：激光共聚焦显微镜

　　设备型号：LSM700

　　制造厂家：德国蔡司公司

　　主要用途：

　　用来观察样品表面亚μm程度（0.2μm）的三维形态和形貌，又可以测量多种微小的尺寸，诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。

　　激光共聚焦显微镜使用方便,与一般光学显微镜相似，且全部采用计算机直观控制；基本无须制样，不损伤样品，不需要做导电处理，也容许大尺寸样品直接观察，完全不破坏样品。

　　几十秒到一两分钟即完成全部的扫描，成像，测量采样工作，作为一种新的检测仪器，是SEM的一种补充。

　　主要技术指标：
　　1、X，Y轴分辨率：不小于120nm；Z轴分辨率：不小于1nm；
　　2、扫描分辨率：2048X2048像素，连续可调；
　　3、物镜：半复消色差物镜5X、10X；复消色差物镜20X、50X、100X和100X长焦；
　　4、6孔电动物镜转盘；
　　5、目镜：原装进口目镜；
　　6、光源：激光和彩色两部分, 激光光强可调；
　　7、具备明场、暗场、干涉和偏振方式观察。