设备名称：电子探针

　　设备型号：EPMA-1600

　　制造厂家：日本岛津制作所SHIMADZU

　　主要用途：

　　可对材料微米区域进行化学成分分析：

　　原子序数在10以上元素的定性和定量分析，原子序数在10以下元素的定性分析及有条件的定量分析；

　　线扫描可获得材料某直线走向的成分分布信息（涂层中元素的浓度梯度曲线）；

　　面扫描可获得材料某一面积上的元素分布信息（元素面分布图象）；

　　用背散射电子像、二次电子像及样品电流像可观察试样的表面形貌及原子序数差别；

　　可对某些元素（依据提供的软件）进行元素状态分析。

　　主要技术指标：
　　元素分析范围：5B—92U；
　　X射线取出角：52.5°；
　　二次电子像分辨率：6 nm（W灯丝，30kV）和 5 nm（CeBx灯丝，30kV）；
　　电子图像放大倍数：×100—×50,000；
　　光学图像放大倍数：×540。