设备名称:电子探针
设备型号:EPMA-1600
制造厂家:日本岛津制作所SHIMADZU
主要用途:
可对材料微米区域进行化学成分分析:
原子序数在10以上元素的定性和定量分析,原子序数在10以下元素的定性分析及有条件的定量分析;
线扫描可获得材料某直线走向的成分分布信息(涂层中元素的浓度梯度曲线);
面扫描可获得材料某一面积上的元素分布信息(元素面分布图象);
用背散射电子像、二次电子像及样品电流像可观察试样的表面形貌及原子序数差别;
可对某些元素(依据提供的软件)进行元素状态分析。
主要技术指标:
元素分析范围:5B—92U;
X射线取出角:52.5°;
二次电子像分辨率:6 nm(W灯丝,30kV)和 5 nm(CeBx灯丝,30kV);
电子图像放大倍数:×100—×50,000;
光学图像放大倍数:×540。
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