设备名称：ESCALAB Xi+表面分析系统

　　设备型号：ESCALAB Xi+

　　制造厂家：热电Thermo

　　主要用途：材料表面元素及化学状态的分析，可做除H、He以外表面元素的定性及半定量分析，主要功能：XPS和UPS。该设备配备单离子/团簇离子源，高温高压气体反应室，多气体紫外光电子能谱。

　　主要技术指标：
　　XPS能量分辨：单色器0.43ev；
　　UPS能量分辨：100mev；
　　独立的外挂于样品制备室上的高压反应池；
　　温度及压力：≥1200K温度的同时可以实现≥7bar的压力。