设备名称:白光干涉仪
设备型号:Micro XAM 3D
制造厂家:美国KLA公司
主要用途:
测量金属和非金属材料各种形状(平面、曲面)表面的三维形貌、粗糙度、轮廓、平面度和台阶高度;
在多尺度范围内用于材料的表面磨损、薄膜和涂层厚度、超精加工机械零件、各类工件等的高精度表面测量、分析和研究;
实现样品表面亚微米程度的三维形态和形貌粗糙度的测量,几何测量,高度测量,体积测量,透明或半透明膜厚测量台阶高度的测量,组织观察,三维形貌分析。
主要技术指标:
1、Z向压电扫描100μm,垂直分辨率:不低于0.1nm;
2、垂直扫描速度:≥7μm/s,自动聚焦系统,测量范围:10mm;
3、可倾斜工作台,最大可测倾角范围:不低于3度至30度,X,Y方向的移动范围不少于150mm×150mm,Z轴方向移动范围不少于100mm,自动控制和手动调节模式;
4、测量视场范围:不低于0.36×0.36mm 至 7×7mm;
5、X Y 轴分辨率:优于0.4μm;
6、透镜配置:X 2.5 X10 X50;
7、高灵敏度数字成像传感器:像素不低于1024×1024。
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