设备名称：白光干涉仪

　　设备型号：Micro XAM 3D

　　制造厂家：美国KLA公司

　　主要用途：

　　测量金属和非金属材料各种形状（平面、曲面）表面的三维形貌、粗糙度、轮廓、平面度和台阶高度；
　　在多尺度范围内用于材料的表面磨损、薄膜和涂层厚度、超精加工机械零件、各类工件等的高精度表面测量、分析和研究；
　　实现样品表面亚微米程度的三维形态和形貌粗糙度的测量，几何测量，高度测量，体积测量，透明或半透明膜厚测量台阶高度的测量，组织观察，三维形貌分析。

　　主要技术指标：
　　1、Z向压电扫描100μm，垂直分辨率：不低于0.1nm；
　　2、垂直扫描速度：≥7μm/s，自动聚焦系统，测量范围：10mm；
　　3、可倾斜工作台，最大可测倾角范围：不低于3度至30度，X,Y方向的移动范围不少于150mm×150mm，Z轴方向移动范围不少于100mm，自动控制和手动调节模式；
　　4、测量视场范围：不低于0.36×0.36mm 至 7×7mm；
　　5、X Y 轴分辨率：优于0.4μm；
　　6、透镜配置：X 2.5 X10 X50；
　　7、高灵敏度数字成像传感器：像素不低于1024×1024。