设备名称：
　　Zeiss场发射扫描电子显微镜

　　型号：
　　MERLIN Compact

　　制造厂家：
　　德国蔡司

　　功能用途：
　　材料微观组织形貌观察；
　　材料及各种相的微区成分测定；
　　材料微取向测定。

　　主要技术指标：
　　高真空分辨率：0.8nm/15kV
　　配置：二次电子探头；背散射探头；InlensDuo高分辨探头。能谱仪（EDS）和背散射电子衍射仪（EBSD）。