设备名称： 场发射扫描电镜

　　设备型号：Verios 5 UC

　　制造厂家：FEI

　　功能用途：可用于超高分辨成像、超高分辨率EBSD分析。

　　主要技术指标：1、分辨率 SE≤0.6nm
　　　　　　　　　2、Probe current≤100nA
　　　　　　　　　3、4分割环形BSD探头
　　　　　　　　　4、压电陶瓷样品台
　　　　　　　　　5、配有单色器功能
　　　　　　　　　6、配有同轴TKD
　　　　　　　　　7、加热杆
　　　　　　　　　8、EBSD edax
　　　　　　　　　9、EDS edax