设备名称： 场发射扫描电镜

　　设备型号：ZEISS Gemini SEM 460

　　制造厂家：德国蔡司

　　功能用途：可用于高分辨成像、大面积成像、大束流高速EBSD分析。

　　主要技术指标：

　　1、分辨率 SE≤0.7nm
　　2、Probe current≤40nA
　　3、6分割BSD探头
　　4、EBSD Symmetry s2
　　5、EDS Ultim max100
　　6、LAM Atlas5