化学家。女。浙江杭州人。1949年毕业于上海大同 大学化工系。上海交通大学教授。参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分 析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966－1 986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978 年成功地用等平面N沟硅栅 MOS &127;工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内 处于领先地位。 1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作 ，制出具有国际水平的直径为2mm的微马达。

1980年当选为中国科学院院士（学部委员）。