飞秒激光微纳加工系统，采用高功率的飞秒激光器作为加工源，搭配全自动控制软件控制系统，选择不同频率和能量的激光来实现快速大尺寸加工或微纳尺度的精细加工。充分发挥其加工时热影响区极小的优点，可快速制备透射电子显微镜样品、扫描EBSD和XRT等样品。