设备名称
| 设备名称 |
变温霍尔效应测试仪 |
| 型号 |
HMS－5000 |
| 生产厂商 |
ECOPIA |
| 功能用途 |
用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、
霍尔系数、导电类型等重要电学参数 |
主要技术指标
| 输入电流 |
1nA ~ 20mA |
| 电阻率 |
10-5~ 107Ω.cm |
| 载流子浓度 |
107~ 1021cm-3 |
| 迁移率 |
1 ~ 107cm2/V·s |
| 磁场强度 |
0.51T |
| 样品测量板 |
SPCB弹簧样品板 |
| 测量温度 |
常温，77K液氮浴 |
样品要求：
1.种类：Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO (includingITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO等所有半导体薄膜(P型和N型)；
2.尺寸：5mmⅹ5mm ~ 20mmⅹ20mm
