![](./W020230419592197473909.jpg)
设备名称
设备名称 |
超高分辨及分析型热场发射扫描电子显微镜 |
型号 |
SU-7 |
生产厂商 |
HITACHI(日立) |
功能用途 |
材料微观形貌观察;微区成分测定;半导体材料发光特性研究。 |
附件 |
ET二次电子成像探测器 |
HORIBA XMAX50能谱仪,成分范围Be~U |
HORIBA MP-32S阴极荧光光谱仪 |
主要技术指标
光谱范围 |
1nm @15kV; 2.5 nm @1kV |
放大倍数 |
20~800kX |
加速电压 |
0.5-30kV) |
倾转角度 |
-5°~ 70° |
样品台移动范围 |
X=Y=110mm;Z 最大40mm |
样品尺寸 |
最大直径150mm |
电子枪 |
肖特基场发射 |
束流 |
1pA-100nA |
样品要求:
1.非磁性样品;
2.按要求固定并脱水;