设备名称
| 设备名称 |
超高分辨及分析型热场发射扫描电子显微镜 |
| 型号 |
SU-7 |
| 生产厂商 |
HITACHI（日立） |
| 功能用途 |
材料微观形貌观察；微区成分测定；半导体材料发光特性研究。 |
| 附件 |
ET二次电子成像探测器 |
| HORIBA XMAX50能谱仪，成分范围Be~U |
| HORIBA MP-32S阴极荧光光谱仪 |
主要技术指标
| 光谱范围 |
1nm @15kV； 2.5 nm @1kV |
| 放大倍数 |
20～800kX |
| 加速电压 |
0.5-30kV） |
| 倾转角度 |
-5°～ 70° |
| 样品台移动范围 |
X=Y=110mm；Z 最大40mm |
| 样品尺寸 |
最大直径150mm |
| 电子枪 |
肖特基场发射 |
| 束流 |
1pA-100nA |
样品要求：
1.非磁性样品；
2.按要求固定并脱水；
