薄膜材料与界面课题组-中国科学院金属研究所
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扫描探针显微镜
2023-04-19  |          【大 中 小】【打印】【关闭】

设备名称
 设备名称 扫描探针显微镜
 型号  INNOVA
 生产厂商  BRUKER
功能用途 试样表面形貌的立体表征；
试样表面纳米级起伏，粗糙度等立体形态测量。
主要技术指标
分辨率 ＜2μm标准10倍物镜（在50倍物镜下0.75μm）
Z 向最大扫描高度 18 mm
闭环扫描器 XY＞90μm, Y＞7.5μm
开环扫描器 XY＞5μm, Y＞1.5μm
Z轴行程 Z 最大18mm
扫描模式 轻敲模式/接触模式

样品要求：
样品最大尺寸：X=Y=50mm 
金属基复合材料&特种焊接与加工研究团队-中国科学院金属研究所

薄膜材料与界面课题组

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