所内各部门（课题组）：

国家基金委发布了指南引导类原创探索计划项目“先进IC制造装备基础前沿”指南，根据基金委要求，上述指南内容严禁以任何形式转发或外传，有意申请的老师烦请登录科学基金网络信息系统（https://grants.nsfc.gov.cn/pmpweb/login），在“项目管理-项目指南”模块查看相关指南详情，于2024年11月13号前完成预申报。

联系人：杨  楠  83973102  nyang@imr.ac.cn

        佟百运  23971197  bytong@imr.ac.cn