金属所在高功率MEMS开关芯片超长寿命材料领域获重要进展
MEMS(微机电系统)开关芯片广泛应用于5G/6G通信、航空航天、工业控制及新能源等领域。作为核心元件之一,其微悬臂梁开关不仅需要具备优异的导电性和高强度,还需在实现“开”与“关”状态切换时承受高达1010次超高周循环的动态弯曲变形。微悬臂梁材料能否在超高周疲劳载荷下保持高服役可靠性是制造高功率、低功耗高端MEMS开关芯片的关键挑战之一。虽然金及其合金凭借低电阻率和良好的可微加工性被广泛用于微悬臂梁开关,但其较低的拉伸强度和疲劳抗力无法满足超长疲劳寿命的要求。因此,如何发展高性能开关用微悬臂梁金属材料的设计...
2025-11-13