分析测试中心新购置聚焦离子束电子显微镜已完成安装调试,现面向全所开放运行。该设备融合了离子束和电子束技术,能够进行固体样品表面形貌观察,实现微纳级别的定点加工与透射样品制备等功能。
一、设备主要配置及指标
电子束系统:配备高分辨率电子枪,加速电压范围0.2kV-30kV,束流强度范围0.8pA-90nA。电子束交叉点分辨率:0.6nm @15KV
离子束系统:配有液态Ga离子源,加速电压范围0.5kV-30kV,束流强度范围1pA-60nA。离子束交叉点分辨率:2.5nm@30kV
成像与探测系统:包括二次电子/背散射电子探头、离子探测器、能谱 (EDS)、扫描透射电子探测器(STEM)等,可实现多种信号成像和材料成分分析。
微加工系统:配置Pt/C/W气体注入系统、纳米机械手等用于材料的定点加工和表征。
二、样品要求与注意事项
设备不接受粉末样品、含水样品、非固态样品及生物毒害性样品。设备运行期间,需要专人操作,严禁用户未经培训擅自操作。
三、联系方式
仪器放置地点:师昌绪楼124房间
仪器管理员:马广财
联系电话:83978742/13840090302
电子邮箱:gcma@imr.ac.cn
品牌:Thermo Fisher 型号:Helios G5 UX