多靶磁控溅射沉积系统-1

多靶磁控溅射沉积系统-2

热电性能测试设备

ALD原子层沉积系统

等离子体处理/原位TEM样品杆预抽系统

Hall测试系统

AFM

红外成像显微镜

微束/飞秒激光微纳加工系统

紫外光刻机

电子束/热蒸发镀膜系统

3Omega频域法热导率测试系统

稳态法热导率测试系统

球型焊线机

高温管式炉

红外快速退火炉

自主研制的各种类型原位仿真环境（JEOL/FEI）TEM样品杆