设备名称：超声显微镜
型号：SAM 402
制造厂家：PVA TePla Analytical Systems GmbH 德国
功能及用途：
可对板状构件内部的缺陷实现有效的自动化超声检测与分析，并计算出缺陷所占面积百分比。
技术指标：
图像分辨率：≥32000×32000 像素；
X、Y轴重复定位精度不低于±0.5μm；
XY轴具有磁力悬浮机构并配合0.1um精度光栅尺精确定位；
X-Y方向C扫描范围0.2×0.2mm—430x430mm；
主要扫描模式包括:A扫描(点扫描)、B扫描、C扫描、多层C扫描、在不同的Z高度进行连续的C扫描、多重门限扫描、透射扫描、托盘扫描、顺序扫描、高清晰扫描、表面跟踪扫描、实体扫描、分频扫描、覆盖扫描等。
