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电子束系统：配备高分辨率电子枪，加速电压范围0.2kV-30kV，束流强度范围0.8pA-90nA。电子束交叉点分辨率：0.6nm @15KV
离子束系统：配有液态Ga离子源，加速电压范围0.5kV-30kV，束流强度范围1pA-60nA。离子束交叉点分辨率：2.5nm@30kV
成像与探测系统：包括二次电子/背散射电子探头、离子探测器、能谱 （EDS）、扫描透射电子探测器（STEM）等，可实现多种信号成像和材料成分分析。
微加工系统：配置Pt/C/W气体注入系统、纳米机械手等用于材料的定点加工和表征。 | 
